基板処理システム、スケジュール作成方法、記録媒体、及び、スケジュール作成プログラム[ja]

被引:0
申请号
JP20220151071
申请日
2022-09-22
公开(公告)号
JP2024045960A
公开(公告)日
2024-04-03
发明(设计)人
YAMAMOTO SHINJI HORIGUCHI HIROSHI
申请人
SCREEN HOLDINGS CO LTD
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/02
IPC分类号
G06N3/08
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[42]
支援システム、支援装置、支援方法、及び支援プログラム[ja] [P]. 
FUJII KENGO ;
ONISHI NAOKAZU ;
HASHIBA CHIAKI ;
HARA REINA ;
KUSHIMOTO ATSUSHI .
日本专利 :JP2024094679A ,2024-07-10
[43]
支援システム、支援装置、支援方法、及び支援プログラム[ja] [P]. 
FUJII KENGO ;
ONISHI NAOKAZU ;
KUSHIMOTO ATSUSHI ;
HASHIBA CHIAKI ;
HARA REINA ;
YAMASHITA TAKASHI ;
KONISHI SAWAKO ;
ISHIMODA KAZUKI .
日本专利 :JP2024094673A ,2024-07-10
[47]
支援システム、支援装置、支援方法、及び支援プログラム[ja] [P]. 
FUJII KENGO ;
YOKOI HIROKAZU ;
ONISHI NAOKAZU ;
KUSHIMOTO ATSUSHI ;
NAITO ATSUMI .
日本专利 :JP2024094681A ,2024-07-10
[48]
水処理システム、検知装置、検知方法およびプログラム[ja] [P]. 
TAKIGUCHI KEISUKE ;
TAKIZAWA MASAHIRO .
日本专利 :JP2025036875A ,2025-03-17