一种半导体圆晶表面光刻胶涂布装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411456465.8
申请日
2024-10-18
公开(公告)号
CN118950393A
公开(公告)日
2024-11-15
发明(设计)人
李国平
申请人
黄山市祁门县锦城电器有限公司
申请人地址
245600 安徽省黄山市祁门县经济开发区电子产业园5号厂房
IPC主分类号
B05C5/02
IPC分类号
B05C13/02 B05C11/02
代理机构
北京投知圈知识产权代理事务所(普通合伙) 16064
代理人
张彦鹏
法律状态
授权
国省代码
安徽省 安庆市
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共 50 条
[1]
一种半导体圆晶表面光刻胶涂布装置 [P]. 
李国平 .
中国专利 :CN118950393B ,2024-12-31
[2]
一种半导体圆晶表面光刻胶涂布装置 [P]. 
罗启祥 ;
高梁 .
中国专利 :CN120605843A ,2025-09-09
[3]
一种半导体晶圆光刻胶涂布装置 [P]. 
由振琪 .
中国专利 :CN215918024U ,2022-03-01
[4]
一种去除晶圆表面光刻胶的方法 [P]. 
曹娟 ;
黄寓洋 .
中国专利 :CN115047733A ,2022-09-13
[5]
处理半导体晶圆的光刻胶涂布及显影系统和方法 [P]. 
张成根 ;
林钟吉 ;
权炳仁 .
中国专利 :CN111326450A ,2020-06-23
[6]
用于去除晶圆表面光刻胶的环保型去胶剂 [P]. 
姚吉豪 ;
王江锋 ;
洪学平 .
中国专利 :CN111880384A ,2020-11-03
[7]
一种去除金属薄膜表面光刻胶的方法 [P]. 
王依依 ;
许杨 .
中国专利 :CN119181637A ,2024-12-24
[8]
半导体晶圆的表面处理方法、避免光刻胶残留的方法 [P]. 
王彩虹 ;
金乐群 ;
胡林 ;
赵新民 ;
周孟兴 .
中国专利 :CN102496558A ,2012-06-13
[9]
一种剥离晶圆表面光刻胶的清洗机构及清洗花篮 [P]. 
郭娟 .
中国专利 :CN206849814U ,2018-01-05
[10]
一种用于半导体晶圆的光刻胶清洗液 [P]. 
江富杰 ;
张飞凡 .
中国专利 :CN107664930A ,2018-02-06