一种薄膜真空计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911136987.9

申请日：

2019-11-19

公开(公告)号：

CN110702301B

公开(公告)日：

2024-11-01

发明(设计)人：

张心强靳毅齐英蔺宇陈林

申请人：

川北真空科技（北京）有限公司中国科学院微电子研究所

申请人地址：

102200 北京市昌平区振兴路36号5楼

IPC主分类号：

G01L21/00

IPC分类号：

G01L19/00

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

秦广成

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种薄膜真空计 [P].

张心强 ;

靳毅 ;

齐英 ;

蔺宇 ;

陈林 .

中国专利 :CN210603717U ,2020-05-22

[2]

一种薄膜真空计 [P].

张心强 ;

靳毅 ;

齐英 ;

蔺宇 ;

陈林 .

中国专利 :CN110702301A ,2020-01-17

[3]

电容薄膜真空计 [P].

刘公超 ;

潘雨默 ;

刘旭强 ;

陶硕 ;

林立男 ;

闫冉 .

中国专利 :CN118624093A ,2024-09-10

[4]

电容薄膜真空计 [P].

王晓利 ;

赵胜义 ;

王育才 .

中国专利 :CN308854823S ,2024-09-24

[5]

一种电容薄膜真空计 [P].

黄星星 ;

侯少毅 ;

卫红 ;

刘乔 ;

胡强 .

中国专利 :CN114459670A ,2022-05-10

[6]

一种新型电容薄膜真空计 [P].

王巍 ;

周丹 ;

黎蛰鳌 ;

陈国辉 .

中国专利 :CN220853990U ,2024-04-26

[7]

电容式薄膜真空计 [P].

胡显浪 ;

肖四哲 ;

庞爱锁 ;

张武 .

中国专利 :CN222087203U ,2024-11-29

[8]

一种电容式薄膜真空计 [P].

郜晨希 ;

张心强 ;

徐亚辉 ;

林琳 ;

孙小孟 ;

闫明 ;

张沙 ;

刘瑞琪 ;

郑旭 ;

苏涛 ;

李超波 .

中国专利 :CN119104218A ,2024-12-10

[9]

一种薄膜真空计及其制备方法 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN117571196A ,2024-02-20

[10]

一种电容式薄膜真空计 [P].

朱泓 ;

唐云剑 .

中国专利 :CN209470807U ,2019-10-08

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