一种薄膜真空计及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311524402.7

申请日：

2023-11-15

公开(公告)号：

CN117571196A

公开(公告)日：

2024-02-20

发明(设计)人：

杨一新

申请人：

季华实验室

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

G01L21/02

IPC分类号：

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

徐凯凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 21/02申请日:20231115
2024-02-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种电容薄膜真空计及其制备方法 [P].

雷程 ;

余建刚 ;

梁庭 ;

张臻昊 ;

李腾腾 ;

李丰超 ;

李鑫浦 ;

李志强 .

中国专利 :CN119178552A ,2024-12-24

[2]

MEMS薄膜真空计及其制备方法 [P].

王广猛 ;

史晓晶 ;

柳俊文 .

中国专利 :CN114314498A ,2022-04-12

[3]

一种电容薄膜真空计 [P].

黄星星 ;

侯少毅 ;

卫红 ;

刘乔 ;

胡强 .

中国专利 :CN114459670A ,2022-05-10

[4]

一种电容薄膜真空计及NEG薄膜制备方法 [P].

毕诗博 ;

侯少毅 ;

卫红 ;

胡强 ;

胡琅 ;

王凤双 ;

黄星星 .

中国专利 :CN114720048B ,2022-07-08

[5]

电容薄膜真空计 [P].

王晓利 ;

赵胜义 ;

王育才 .

中国专利 :CN308854823S ,2024-09-24

[6]

微型真空计及其制备方法 [P].

冯刘昊东 ;

陈朔 ;

郭松 ;

彭鑫林 ;

季宇成 ;

许杨 ;

王诗男 .

中国专利 :CN118464281A ,2024-08-09

[7]

一种高精度电容薄膜真空计 [P].

侯少毅 ;

胡琅 ;

胡强 ;

徐平 ;

何斌 ;

黎天韵 ;

郭远军 ;

卫红 ;

黄丽玲 .

中国专利 :CN112834110A ,2021-05-25

[8]

一种薄膜真空计 [P].

张心强 ;

靳毅 ;

齐英 ;

蔺宇 ;

陈林 .

中国专利 :CN110702301B ,2024-11-01

[9]

一种薄膜真空计 [P].

张心强 ;

靳毅 ;

齐英 ;

蔺宇 ;

陈林 .

中国专利 :CN210603717U ,2020-05-22

[10]

一种薄膜真空计 [P].

张心强 ;

靳毅 ;

齐英 ;

蔺宇 ;

陈林 .

中国专利 :CN110702301A ,2020-01-17

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