共 50 条
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基板检查装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880081787.5
申请日：
2018-11-27
公开(公告)号：
CN111492254B
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
生野裕仁
松川俊英
申请人：
日本电产理德股份有限公司
申请人地址：
日本京都府京都市右京区西京极堤外町10番地
IPC主分类号：
G01R31/28
IPC分类号：
G01R31/54
H05K3/00
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马爽;臧建明
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-29 | 授权 | 授权 |