处理设备、处理设备的载具及处理设备的使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310487833.4

申请日：

2023-04-27

公开(公告)号：

CN118895547A

公开(公告)日：

2024-11-05

发明(设计)人：

施述鹏严大

申请人：

江苏微导纳米科技股份有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号

IPC主分类号：

C25D17/00

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李洋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C25D 17/00申请日:20230427
2024-11-05	公开	公开

共 50 条

[1]

载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法 [P].

施述鹏 ;

严大 ;

康旭 ;

张胜 .

中国专利 :CN116479410B ,2024-05-14

[2]

一种处理设备及处理设备的使用方法 [P].

施述鹏 ;

严大 .

中国专利 :CN118895490A ,2024-11-05

[3]

基板处理设备及使用该基板处理设备的基板处理方法 [P].

丁荣贤 ;

成乐范 .

中国专利 :CN110176427A ,2019-08-27

[4]

半导体处理设备的使用方法、半导体处理设备、及存储介质 [P].

陈鲁 ;

王彦彦 ;

张朝前 ;

马砚忠 ;

卢继奎 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112967953A ,2021-06-15

[5]

基板处理设备以及使用基板处理设备的方法 [P].

曹生贤 .

中国专利 :CN109923688B ,2019-06-21

[6]

水处理设备的水处理方法及水处理设备 [P].

阴山晃治 ;

隅仓岬 ;

武本刚 ;

渡边昭二 ;

原直树 ;

圆佛伊智朗 .

中国专利 :CN1847169A ,2006-10-18

[7]

水处理设备及使用该水处理设备的水处理程序 [P].

郑建荣 ;

萧从信 ;

王兴根 .

中国专利 :CN1569696A ,2005-01-26

[8]

一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法 [P].

严大 ;

张鹏 ;

张胜 ;

王亨 ;

李志云 .

中国专利 :CN117524969A ,2024-02-06

[9]

基材处理设备以及使用该基材处理设备处理基材的方法 [P].

金性洙 .

中国专利 :CN101431006A ,2009-05-13

[10]

水处理设备和使用该水处理设备的水处理方法 [P].

权兑星 ;

曺永建 ;

任淳浩 ;

文炯珉 ;

李受暎 ;

黄义善 .

中国专利 :CN103269982A ,2013-08-28

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