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一种自动化晶圆打点装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323293548.3
申请日：
2023-12-05
公开(公告)号：
CN221885079U
公开(公告)日：
2024-10-22
发明(设计)人：
陈宏成
沈震
申请人：
无锡联发易创科技有限公司
申请人地址：
214142 江苏省无锡市新吴区新华路5号创新创意产业园B栋313-319室
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
杭州派肯专利代理有限公司 33414
代理人：
宋飞燕
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-22 | 授权 | 授权 |