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一种晶圆自动化涂源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620817739.6
申请日：
2016-07-29
公开(公告)号：
CN205984910U
公开(公告)日：
2017-02-22
发明(设计)人：
汪良恩
申请人：
申请人地址：
247000 安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B05B1302
代理机构：
上海市华诚律师事务所 31210
代理人：
章登亚
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-10-24 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:安徽安芯电子科技有限公司 变更后:安徽安芯电子科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:247000 安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号 变更后:247000 安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号 |
| 2017-02-22 | 授权 | 授权 |