确定带电粒子束的能谱或能宽的方法以及带电粒子束成像装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410511622.4

申请日：

2024-04-26

公开(公告)号：

CN118899208A

公开(公告)日：

2024-11-05

发明(设计)人：

J·布罗伊尔 D·P·埃伯格

申请人：

ICT半导体集成电路测试有限公司

申请人地址：

德国海姆斯特滕

IPC主分类号：

H01J37/145

IPC分类号：

H01J37/147 H01J37/21 H01J37/244

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

储思哲;侯颖媖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	公开	公开

共 50 条

[1]

确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置 [P].

布鲁尔·约翰 ;

埃伯格·多米尼克 ;

费尔克斯·马蒂亚斯 .

德国专利 :CN117894657A ,2024-04-16

[2]

确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN118043931B ,2025-02-21

[3]

确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN118043931A ,2024-05-14

[4]

带电粒子束成像装置 [P].

孙伟强 .

中国专利 :CN119314844B ,2025-04-11

[5]

带电粒子束成像装置 [P].

孙伟强 .

中国专利 :CN119314844A ,2025-01-14

[6]

确定带电粒子束的束会聚度的方法以及带电粒子束系统 [P].

D·恩伯格 ;

J·布罗伊尔 .

德国专利 :CN119355027A ,2025-01-24

[7]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

中国专利 :CN111624857A ,2020-09-04

[8]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

野村春之 ;

中山田宪昭 .

中国专利 :CN114787958A ,2022-07-22

[9]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

安田淳平 ;

涌井直人 .

日本专利 :CN115113489B ,2025-04-11

[10]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

日本专利 :CN111624857B ,2024-04-02

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