碳化硅晶锭激光剥离设备及激光剥离方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411418562.8

申请日：

2024-10-12

公开(公告)号：

CN118951927A

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

陶为银闫兴

申请人：

江苏通用半导体有限公司

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市青阳镇青桐路215号霞客湾创智园3幢1-2层

IPC主分类号：

B24B7/22

IPC分类号：

B24B27/00 B24B41/06 B24B41/00 B24B1/00 B28D5/00 B28D7/04

代理机构：

苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516

代理人：

陈婧烨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	授权	授权
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 7/22申请日:20241012
2024-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅晶锭激光剥离设备及激光剥离方法 [P].

陶为银 ;

闫兴 .

中国专利 :CN118951927B ,2025-05-02

[2]

一种激光剥离碳化硅晶锭的方法及装置 [P].

谢小柱 ;

黄耀安 ;

李兆艳 ;

吕凯俊 .

中国专利 :CN115592255A ,2023-01-13

[3]

一种激光剥离碳化硅晶锭的方法及装置 [P].

侯煜 ;

李曼 ;

张喆 ;

石海燕 ;

张昆鹏 ;

文志东 ;

张紫辰 .

中国专利 :CN115555736B ,2025-09-19

[4]

一种激光剥离碳化硅晶锭的方法及装置 [P].

侯煜 ;

李曼 ;

张喆 ;

石海燕 ;

张昆鹏 ;

文志东 ;

张紫辰 .

中国专利 :CN115555736A ,2023-01-03

[5]

基于液氮温控的碳化硅晶锭激光剥离方法及系统 [P].

高宇鹏 ;

李斌 ;

魏汝省 ;

毛开礼 ;

李天 ;

刘宏伟 ;

吴宇飞 .

中国专利 :CN120719399A ,2025-09-30

[6]

一种碳化硅晶锭的激光剥离方法及其装置 [P].

张紫辰 ;

侯煜 ;

文志东 ;

张喆 ;

石海燕 ;

张昆鹏 ;

李曼 .

中国专利 :CN115555735A ,2023-01-03

[7]

一种碳化硅晶锭的激光剥离方法及其装置 [P].

张紫辰 ;

侯煜 ;

文志东 ;

张喆 ;

石海燕 ;

张昆鹏 ;

李曼 .

中国专利 :CN115555735B ,2025-08-19

[8]

碳化硅剥离方法及碳化硅剥离装置 [P].

吴勇波 ;

陈卓 ;

巩立启 ;

武韩强 .

中国专利 :CN120503329A ,2025-08-19

[9]

一种激光剥离碳化硅晶圆的系统及方法 [P].

郑煜 ;

邓逸飞 ;

陈琪钰 ;

万强伟 ;

严一雄 .

中国专利 :CN118385733A ,2024-07-26

[10]

一种剥离碳化硅晶锭的方法及系统 [P].

高宇鹏 ;

李斌 ;

魏汝省 ;

毛开礼 ;

李天 ;

乔亮 ;

毛栋梁 ;

罗东 .

中国专利 :CN120715448A ,2025-09-30

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