一种大尺寸碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202111543071.2
申请日
2021-12-16
公开(公告)号
CN114411254B
公开(公告)日
2024-11-12
发明(设计)人
康俊勇 尹君 檀鹏 康闻宇
申请人
唤月照雪(厦门)科技有限责任公司
申请人地址
361000 福建省厦门市思明区演武西路180号1402室之一
IPC主分类号
C30B29/36
IPC分类号
C30B23/00
代理机构
厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204
代理人
张松亭;陈淑娴
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
福建省 厦门市
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共 50 条
[1]
一种大尺寸碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P]. 
康俊勇 ;
尹君 ;
檀鹏 ;
康闻宇 .
中国专利 :CN114411254A ,2022-04-29
[2]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶生长方法 [P]. 
王海涛 ;
乔帅帅 .
中国专利 :CN120384329A ,2025-07-29
[3]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P]. 
陈泽斌 ;
张洁 ;
廖弘基 ;
陈华荣 .
中国专利 :CN109629001A ,2019-04-16
[4]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P]. 
陈泽斌 ;
张洁 ;
廖弘基 ;
陈华荣 .
中国专利 :CN109576792A ,2019-04-05
[5]
一种大尺寸碳化硅单晶的生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P]. 
高冰 ;
王博 .
中国专利 :CN120425457A ,2025-08-05
[6]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P]. 
陈泽斌 ;
张洁 ;
廖弘基 ;
陈华荣 .
中国专利 :CN109629000A ,2019-04-16
[7]
一种大尺寸碳化硅单晶的生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P]. 
高冰 ;
王博 .
中国专利 :CN120425457B ,2025-10-21
[8]
碳化硅单晶生长装置及制造碳化硅单晶的方法 [P]. 
徐良 ;
蓝文安 ;
占俊杰 ;
阳明益 ;
刘建哲 ;
余雅俊 .
中国专利 :CN110331437B ,2019-10-15
[9]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶的制造方法 [P]. 
池田均 ;
松本雄一 ;
高桥亨 .
中国专利 :CN112313369B ,2021-02-02
[10]
大尺寸碳化硅单晶生长装置 [P]. 
刘熙 ;
严成峰 ;
忻隽 ;
孔海宽 ;
肖兵 ;
杨建华 ;
施尔畏 .
中国专利 :CN103173863A ,2013-06-26