大尺寸碳化硅单晶生长装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110440573.2

申请日：

2011-12-23

公开(公告)号：

CN103173863A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

刘熙严成峰忻隽孔海宽肖兵杨建华施尔畏

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区城北路215号

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2300

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

郭辉

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C30B 29/36 登记生效日:20210319 变更事项:专利权人变更前权利人:上海硅酸盐研究所中试基地变更后权利人:安徽微芯长江半导体材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:201800 上海市嘉定区上海市嘉定区城北路215号变更后权利人:244000 安徽省铜陵市经济开发区西湖三路变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海硅酸盐研究所
2013-06-26	公开	公开
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497325106 IPC(主分类):C30B 29/36 专利申请号:2011104405732 申请日:20111223
2016-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅单晶生长装置 [P].

伍艳 ;

周亮亮 ;

叶磊 ;

王震威 ;

高玉强 .

中国专利 :CN222594075U ,2025-03-11

[2]

轴向温度梯度可调控的碳化硅单晶生长装置 [P].

刘熙 ;

严成峰 ;

忻隽 ;

孔海宽 ;

肖兵 ;

杨建华 ;

施尔畏 .

中国专利 :CN103184512B ,2013-07-03

[3]

碳化硅单晶生长装置 [P].

付芬 ;

张洁 ;

王旻峰 ;

邓树军 ;

汪良 .

中国专利 :CN215163307U ,2021-12-14

[4]

碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备设备 [P].

陈泽斌 ;

张洁 ;

廖弘基 ;

陈华荣 .

中国专利 :CN109576792A ,2019-04-05

[5]

一种大尺寸碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P].

康俊勇 ;

尹君 ;

檀鹏 ;

康闻宇 .

中国专利 :CN114411254B ,2024-11-12

[6]

一种大尺寸碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶制备方法 [P].

康俊勇 ;

尹君 ;

檀鹏 ;

康闻宇 .

中国专利 :CN114411254A ,2022-04-29

[7]

碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶生长方法 [P].

王海涛 ;

乔帅帅 .

中国专利 :CN120384329A ,2025-07-29

[8]

碳化硅单晶生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210856410U ,2020-06-26

[9]

碳化硅单晶生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

占俊杰 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210856411U ,2020-06-26

[10]

碳化硅单晶生长装置 [P].

崔殿鹏 .

中国专利 :CN111748843B ,2020-10-09

← 1 2 3 4 5 →