相变材料层的刻蚀方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202280092779.7
申请日
2023-10-07
公开(公告)号
CN118901298A
公开(公告)日
2024-11-05
发明(设计)人
王志远 邱宗钰 陈庆鸿
申请人
北京时代全芯存储技术股份有限公司 美国时代全芯有限公司
申请人地址
100088 北京市海淀区西土城路1号院6号楼4层405
IPC主分类号
H10N70/00
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
北京市 市辖区
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共 50 条
[1]
一种相变材料层的刻蚀方法 [P]. 
王志远 ;
邱宗钰 ;
陈庆鸿 .
中国专利 :CN117615639A ,2024-02-27
[2]
相变存储器的相变材料层的蚀刻方法 [P]. 
王志远 ;
羊卫 ;
陈庆鸿 .
中国专利 :CN121038594A ,2025-11-28
[3]
相变材料层的光刻方法 [P]. 
陈庆鸿 ;
邱宗钰 ;
杜超 ;
王志远 .
中国专利 :CN119053236A ,2024-11-29
[4]
相变合金材料的无损刻蚀方法 [P]. 
李俊焘 ;
刘波 ;
宋志棠 ;
冯高明 ;
吴关平 .
中国专利 :CN103094476A ,2013-05-08
[5]
金属层的刻蚀方法 [P]. 
梅娜 ;
王重阳 .
中国专利 :CN101882596A ,2010-11-10
[6]
层间介质层的刻蚀方法 [P]. 
戴鸿冉 .
中国专利 :CN110071110A ,2019-07-30
[7]
含碳层的刻蚀方法 [P]. 
埃文·皮尔斯 .
中国专利 :CN101483135A ,2009-07-15
[8]
阻挡介质层的刻蚀方法 [P]. 
昂开渠 ;
曾林华 ;
任昱 ;
吕煜坤 ;
朱骏 ;
张旭升 .
中国专利 :CN105914145B ,2016-08-31
[9]
Al基金属层的刻蚀方法 [P]. 
布鲁诺·斯普勒 ;
威林德尔·格雷沃 ;
成田雅喜 ;
杨智华(音译) .
中国专利 :CN1221809A ,1999-07-07
[10]
相变材料的制备方法 [P]. 
宋志棠 ;
夏梦姣 ;
饶峰 ;
刘波 ;
封松林 .
中国专利 :CN102386327A ,2012-03-21