气相沉积硅碳负极尾气回收系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422401224.5

申请日：

2024-09-30

公开(公告)号：

CN221933380U

公开(公告)日：

2024-11-01

发明(设计)人：

王少帅陈远新于跃马英英魏富增张泽玉白华

申请人：

内蒙古大全半导体有限公司

申请人地址：

014000 内蒙古自治区包头市九原区哈林格尔镇九原工业园区起航大街1号

IPC主分类号：

B01D46/00

IPC分类号：

F25J3/08 B01D53/02

代理机构：

内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 15110

代理人：

陈冠霖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	授权	授权

共 50 条

[1]

用于制备硅碳负极材料的化学气相沉积系统 [P].

吴清国 ;

权学军 ;

朱玉巧 ;

徐中领 .

中国专利 :CN203890439U ,2014-10-22

[2]

气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统 [P].

徐建 ;

朱刘 ;

蔡云雷 ;

陈振宇 .

中国专利 :CN214437715U ,2021-10-22

[3]

一种气相沉积法硅碳负极生产设备 [P].

商聚粉 ;

安英保 .

中国专利 :CN120866798A ,2025-10-31

[4]

一种硅碳负极材料生产用气相沉积装置 [P].

张朝峰 ;

孔令杰 ;

张龙海 ;

王睿 .

中国专利 :CN222349119U ,2025-01-14

[5]

一种用于硅碳负极材料生产的气相沉积检测系统 [P].

康天宇 ;

牛晓鹏 ;

李洪伟 ;

王建勋 .

中国专利 :CN217954350U ,2022-12-02

[6]

一种气相沉积炉的尾气回收装置 [P].

杨开平 ;

陈国奇 ;

吴文宝 ;

杜智伟 .

中国专利 :CN217287603U ,2022-08-26

[7]

非晶硅薄膜化学气相沉积系统 [P].

郭锋 .

中国专利 :CN202201971U ,2012-04-25

[8]

气相沉积炉尾气处理系统 [P].

董家海 .

中国专利 :CN208065964U ,2018-11-09

[9]

一种化学气相沉积制备硅碳负极生产程序的控制方法 [P].

杨正红 ;

杨娇娇 .

中国专利 :CN119144939A ,2024-12-17

[10]

化学气相沉积系统 [P].

南琦 ;

刘瑞 ;

邓敏 .

中国专利 :CN209162187U ,2019-07-26

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