气相沉积炉尾气处理系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820171984.3

申请日：

2018-01-31

公开(公告)号：

CN208065964U

公开(公告)日：

2018-11-09

发明(设计)人：

董家海

申请人：

申请人地址：

322100 浙江省金华市东阳市巍山镇六怀工业功能区

IPC主分类号：

B01D4600

IPC分类号：

B01D4502 C23C1644

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

刘计成

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-09	授权	授权
2023-01-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 46/00 申请日:20180131 授权公告日:20181109 终止日期:20220131

共 50 条

[1]

一种气相沉积炉尾气分级处理系统 [P].

王振兴 ;

刘超 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 .

中国专利 :CN222092827U ,2024-12-03

[2]

气相沉积炉尾气的回收装置和气相沉积炉系统 [P].

徐建 ;

朱刘 ;

蔡云雷 ;

陈振宇 .

中国专利 :CN214437715U ,2021-10-22

[3]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[4]

气相沉积炉及气相沉积系统 [P].

刘鑫培 ;

朱小刚 ;

刘慧敏 .

中国专利 :CN211142169U ,2020-07-31

[5]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[6]

化学气相沉积尾气稀释设备及处理系统 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN223112803U ,2025-07-18

[7]

一种化学气相沉积设备及其真空与尾气处理系统 [P].

杨泰生 ;

王良均 .

中国专利 :CN117987802A ,2024-05-07

[8]

化学气相沉积炉 [P].

季历程 .

中国专利 :CN102839361A ,2012-12-26

[9]

气相沉积炉配气系统 [P].

赵青松 ;

宁红锋 ;

南建辉 .

中国专利 :CN208776837U ,2019-04-23

[10]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

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