化学气相沉积炉用尾气处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210078238.7

申请日：

2012-03-22

公开(公告)号：

CN102600675B

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

卢钢认崔鹏施伟伟

申请人：

申请人地址：

710072 陕西省西安市高新区科技七路5号

IPC主分类号：

B01D4612

IPC分类号：

代理机构：

西北工业大学专利中心 61204

代理人：

慕安荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-25	公开	公开
2013-12-04	授权	授权
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101328714034 IPC(主分类):B01D 46/12 专利申请号:2012100782387 申请日:20120322

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[2]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[3]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

袁志刚 ;

王大力 ;

郝清伟 ;

徐恩彬 .

中国专利 :CN221155998U ,2024-06-18

[4]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

李应新 ;

袁治军 ;

李畅 ;

陈克剑 .

中国专利 :CN220531190U ,2024-02-27

[5]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[6]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

[7]

一种化学气相沉积炉的尾气处理装置 [P].

陈志军 ;

曹卫 ;

康志卫 ;

王伟 .

中国专利 :CN216320945U ,2022-04-19

[8]

化学气相沉积端尾气处理装置 [P].

伍天赐 ;

黄斌彰 .

中国专利 :CN215539317U ,2022-01-18

[9]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[10]

一种化学气相沉积尾气回收装置 [P].

刘佳宝 ;

汪洋 ;

万强 ;

柴攀 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN110975433A ,2020-04-10

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