一种化学气相沉积炉尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420062465.9

申请日：

2024-01-10

公开(公告)号：

CN221432544U

公开(公告)日：

2024-07-30

发明(设计)人：

王振兴尹宜辉邓雄志王建伟刘超

申请人：

湖南九山半导体科技有限公司

申请人地址：

410000 湖南省长沙市湘江新区麓谷街道桐梓坡西路519号生产厂房B栋101一楼G柱以南

IPC主分类号：

B01D53/00

IPC分类号：

B01D5/00 B01D45/08

代理机构：

长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225

代理人：

李谷丰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[2]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[3]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

袁志刚 ;

王大力 ;

郝清伟 ;

徐恩彬 .

中国专利 :CN221155998U ,2024-06-18

[4]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

李应新 ;

袁治军 ;

李畅 ;

陈克剑 .

中国专利 :CN220531190U ,2024-02-27

[5]

一种化学气相沉积炉的尾气处理装置 [P].

陈志军 ;

曹卫 ;

康志卫 ;

王伟 .

中国专利 :CN216320945U ,2022-04-19

[6]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[7]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[8]

一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置 [P].

关刚刚 ;

李少华 ;

李渭 .

中国专利 :CN208328101U ,2019-01-04

[9]

一种化学气相沉积尾气处理装置 [P].

李东生 ;

姜海 ;

闫桂沈 ;

周志伟 ;

刘乔冰 .

中国专利 :CN202355972U ,2012-08-01

[10]

一种化学气相沉积炉漏气处理装置 [P].

朱双林 ;

李春敏 ;

马国忠 ;

胡人文 ;

王恩强 ;

黄道平 ;

沈伟 .

中国专利 :CN212451624U ,2021-02-02

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