一种化学气相沉积尾气处理装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120435175.7
申请日
2011-11-04
公开(公告)号
CN202355972U
公开(公告)日
2012-08-01
发明(设计)人
李东生 姜海 闫桂沈 周志伟 刘乔冰
申请人
申请人地址
100095 北京市81信箱63分箱
IPC主分类号
B01D5000
IPC分类号
C23C1600
代理机构
中国航空专利中心 11008
代理人
李建英
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
化学气相沉积端尾气处理装置 [P]. 
伍天赐 ;
黄斌彰 .
中国专利 :CN215539317U ,2022-01-18
[2]
一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P]. 
贺鹏博 ;
周帆 .
中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08
[3]
一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P]. 
王振兴 ;
尹宜辉 ;
邓雄志 ;
王建伟 ;
刘超 .
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[4]
一种多级尾气处理装置及化学气相沉积设备 [P]. 
王家毅 ;
姜勇 ;
郑振宇 ;
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郭世平 .
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[5]
化学气相沉积炉尾气处理装置 [P]. 
李培元 ;
薛亮 ;
杨睿欣 ;
崔鹏 ;
周蕊 ;
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[6]
一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P]. 
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王大力 ;
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[7]
一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P]. 
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袁治军 ;
李畅 ;
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[8]
一种化学气相沉积炉的尾气处理装置 [P]. 
陈志军 ;
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[9]
一种化学气相沉积溶解性尾气处理装置 [P]. 
钟兴进 ;
罗长诚 ;
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[10]
一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置 [P]. 
邱海鹏 ;
韩立军 ;
王冬 ;
商凯东 .
中国专利 :CN2716284Y ,2005-08-10