一种化学气相共沉积与渗透尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200420073083.9

申请日：

2004-07-07

公开(公告)号：

CN2716284Y

公开(公告)日：

2005-08-10

发明(设计)人：

邱海鹏韩立军王冬商凯东

申请人：

申请人地址：

100024北京市朝阳区八里桥

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

B01D5378

代理机构：

中国航空专利中心

代理人：

梁瑞林

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-13	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101584434071 IPC(主分类):C23C 16/44 专利号:ZL2004200730839 申请日:20040707 授权公告日:20050810 期满终止日期:20140707
2005-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[2]

一种化学气相沉积尾气处理装置 [P].

李东生 ;

姜海 ;

闫桂沈 ;

周志伟 ;

刘乔冰 .

中国专利 :CN202355972U ,2012-08-01

[3]

化学气相沉积端尾气处理装置 [P].

伍天赐 ;

黄斌彰 .

中国专利 :CN215539317U ,2022-01-18

[4]

化学气相沉积/化学气相渗透工艺尾气处理方法与设备 [P].

成来飞 ;

徐永东 ;

张立同 ;

刘小瀛 .

中国专利 :CN1546201A ,2004-11-17

[5]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[6]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[7]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

[8]

一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置 [P].

于金凤 ;

秦宏硕 ;

朱刘 .

中国专利 :CN210845584U ,2020-06-26

[9]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[10]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

袁志刚 ;

王大力 ;

郝清伟 ;

徐恩彬 .

中国专利 :CN221155998U ,2024-06-18

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