化学气相沉积端尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121871785.1

申请日：

2021-08-11

公开(公告)号：

CN215539317U

公开(公告)日：

2022-01-18

发明(设计)人：

伍天赐黄斌彰

申请人：

申请人地址：

200000 上海市金山区山阳镇新江村8组4073号169室

IPC主分类号：

B01D4612

IPC分类号：

B01D4642 B01D5306 B01D5318

代理机构：

上海德恒万邦专利代理有限公司 31420

代理人：

张定花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[2]

一种化学气相沉积尾气处理装置 [P].

李东生 ;

姜海 ;

闫桂沈 ;

周志伟 ;

刘乔冰 .

中国专利 :CN202355972U ,2012-08-01

[3]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[4]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[5]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

[6]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

袁志刚 ;

王大力 ;

郝清伟 ;

徐恩彬 .

中国专利 :CN221155998U ,2024-06-18

[7]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

李应新 ;

袁治军 ;

李畅 ;

陈克剑 .

中国专利 :CN220531190U ,2024-02-27

[8]

一种化学气相沉积炉的尾气处理装置 [P].

陈志军 ;

曹卫 ;

康志卫 ;

王伟 .

中国专利 :CN216320945U ,2022-04-19

[9]

一种化学气相沉积溶解性尾气处理装置 [P].

钟兴进 ;

罗长诚 ;

何淑英 ;

冯嘉荔 .

中国专利 :CN217449611U ,2022-09-20

[10]

一种多级尾气处理装置及化学气相沉积设备 [P].

王家毅 ;

姜勇 ;

郑振宇 ;

张鹏 ;

郭世平 .

中国专利 :CN222313286U ,2025-01-07

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