化学气相沉积炉尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920341918.0

申请日：

2019-03-18

公开(公告)号：

CN210410057U

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

李培元薛亮杨睿欣崔鹏周蕊王岩

申请人：

申请人地址：

713106 陕西省咸阳市兴平市西城区金城路

IPC主分类号：

B01D5300

IPC分类号：

B01D4508 B01D5318

代理机构：

西北工业大学专利中心 61204

代理人：

慕安荣

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种处理化学气相沉积炉尾气的装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN109806718A ,2019-05-28

[2]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[3]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[4]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

[5]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

袁志刚 ;

王大力 ;

郝清伟 ;

徐恩彬 .

中国专利 :CN221155998U ,2024-06-18

[6]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

李应新 ;

袁治军 ;

李畅 ;

陈克剑 .

中国专利 :CN220531190U ,2024-02-27

[7]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[8]

一种化学气相沉积炉的尾气处理装置 [P].

陈志军 ;

曹卫 ;

康志卫 ;

王伟 .

中国专利 :CN216320945U ,2022-04-19

[9]

化学气相沉积炉 [P].

王利花 ;

张淑蓉 ;

李勇 .

中国专利 :CN102181845A ,2011-09-14

[10]

化学气相沉积端尾气处理装置 [P].

伍天赐 ;

黄斌彰 .

中国专利 :CN215539317U ,2022-01-18

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