一种化学气相沉积炉的尾气处理装置

被引：0

申请号：

CN202122834054.6

申请日：

2021-11-18

公开(公告)号：

CN216320945U

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

陈志军曹卫康志卫王伟

申请人：

申请人地址：

414400 湖南省岳阳市汨罗市弼时镇汉山路南侧

IPC主分类号：

B01D5300

IPC分类号：

B01D500

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

袁志刚 ;

王大力 ;

郝清伟 ;

徐恩彬 .

中国专利 :CN221155998U ,2024-06-18

[2]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[3]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

[4]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[5]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

李应新 ;

袁治军 ;

李畅 ;

陈克剑 .

中国专利 :CN220531190U ,2024-02-27

[6]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[7]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[8]

一种化学气相沉积尾气处理装置 [P].

李东生 ;

姜海 ;

闫桂沈 ;

周志伟 ;

刘乔冰 .

中国专利 :CN202355972U ,2012-08-01

[9]

一种化学气相沉积炉漏气处理装置 [P].

朱双林 ;

李春敏 ;

马国忠 ;

胡人文 ;

王恩强 ;

黄道平 ;

沈伟 .

中国专利 :CN212451624U ,2021-02-02

[10]

化学气相沉积端尾气处理装置 [P].

伍天赐 ;

黄斌彰 .

中国专利 :CN215539317U ,2022-01-18

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