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化学气相沉积炉用尾气处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210078238.7
申请日：
2012-03-22
公开(公告)号：
CN102600675B
公开(公告)日：
2012-07-25
发明(设计)人：
卢钢认
崔鹏
施伟伟
申请人：
申请人地址：
710072 陕西省西安市高新区科技七路5号
IPC主分类号：
B01D4612
IPC分类号：
代理机构：
西北工业大学专利中心 61204
代理人：
慕安荣
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-07-25 | 公开 | 公开 |
| 2013-12-04 | 授权 | 授权 |
| 2012-09-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101328714034 IPC(主分类):B01D 46/12 专利申请号:2012100782387 申请日:20120322 |