一种化学气相沉积尾气回收装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911329217.6

申请日：

2019-12-20

公开(公告)号：

CN110975433A

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

刘佳宝汪洋万强柴攀其他发明人请求不公开姓名

申请人：

申请人地址：

412007 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园（研发中心C栋2楼202号）

IPC主分类号：

B01D4600

IPC分类号：

B01D4612 B01D5300 B01D5304 C01B33107 C07F712 C07F720 C23C1632 C23C1644

代理机构：

长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213

代理人：

刘向丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 46/00 申请日:20191220
2020-04-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积尾气再利用系统及方法 [P].

刘佳宝 ;

汪洋 ;

万强 ;

柴攀 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN110975432A ,2020-04-10

[2]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[3]

一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置 [P].

于金凤 ;

秦宏硕 ;

朱刘 .

中国专利 :CN210845584U ,2020-06-26

[4]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[5]

一种化学气相沉积炉废料回收装置 [P].

赵亚国 ;

李勇 ;

杜宗江 ;

屈谦光 .

中国专利 :CN221440857U ,2024-07-30

[6]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[7]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[8]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

[9]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[10]

一种化学气相沉积尾气处理装置 [P].

李东生 ;

姜海 ;

闫桂沈 ;

周志伟 ;

刘乔冰 .

中国专利 :CN202355972U ,2012-08-01

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