一种化学气相沉积尾气再利用系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911327220.4

申请日：

2019-12-20

公开(公告)号：

CN110975432A

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

刘佳宝汪洋万强柴攀其他发明人请求不公开姓名

申请人：

申请人地址：

412007 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园（研发中心C栋2楼202号）

IPC主分类号：

B01D4600

IPC分类号：

B01D4612 C23C1632

代理机构：

长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213

代理人：

刘向丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 46/00 申请日:20191220
2023-01-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01D 46/00 申请公布日:20200410
2020-04-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积尾气回收装置 [P].

刘佳宝 ;

汪洋 ;

万强 ;

柴攀 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN110975433A ,2020-04-10

[2]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[3]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[4]

化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

卢钢认 ;

崔鹏 ;

施伟伟 .

中国专利 :CN102600675B ,2012-07-25

[5]

一种化学气相沉积炉以及一种化学气相沉积系统 [P].

朱刘 ;

于金凤 .

中国专利 :CN105039931A ,2015-11-11

[6]

一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 [P].

任飒 ;

罗飞 ;

柏旭辉 ;

张挺 ;

胡喜莲 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN221432464U ,2024-07-30

[7]

一种化学气相沉积炉用供气系统及进气方法 [P].

李剑 ;

白杨丰 ;

成洋洋 ;

王晓峰 ;

张思文 ;

刘建强 ;

张继刚 .

中国专利 :CN121183313A ,2025-12-23

[8]

化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

李培元 ;

薛亮 ;

杨睿欣 ;

崔鹏 ;

周蕊 ;

王岩 .

中国专利 :CN210410057U ,2020-04-28

[9]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

贺鹏博 ;

周帆 .

中国专利 :CN214345110U ,2021-10-08

[10]

一种化学气相沉积炉尾气处理装置 [P].

王振兴 ;

尹宜辉 ;

邓雄志 ;

王建伟 ;

刘超 .

中国专利 :CN221432544U ,2024-07-30

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