一种化学气相沉积炉用供气系统及进气方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511664698.1

申请日：

2025-11-13

公开(公告)号：

CN121183313A

公开(公告)日：

2025-12-23

发明(设计)人：

李剑白杨丰成洋洋王晓峰张思文刘建强张继刚

申请人：

山西中电科电子装备有限公司

申请人地址：

030032 山西省太原市山西转型综合改革示范区潇河产业园北格街8号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/52 C23C16/44

代理机构：

太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109

代理人：

冷锦超;陈亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[2]

化学气相沉积炉及其进气机构和进气方法 [P].

邵大立 ;

齐彪 ;

马敬忠 .

中国专利 :CN116083879B ,2025-08-29

[3]

一种侧进气的化学气相沉积炉 [P].

王一虓 ;

王冬 .

中国专利 :CN218262739U ,2023-01-10

[4]

一种化学气相沉积炉进气分布装置 [P].

刘玉清 .

中国专利 :CN202543325U ,2012-11-21

[5]

一种化学气相沉积炉 [P].

胡祥龙 ;

戴煜 ;

杨毅成 .

中国专利 :CN107779843A ,2018-03-09

[6]

一种化学气相沉积炉 [P].

胡祥龙 ;

戴煜 ;

周岳兵 ;

黄启忠 ;

谭瑞轩 .

中国专利 :CN108048817A ,2018-05-18

[7]

偏心进气化学气相沉积炉 [P].

赵林 .

中国专利 :CN2257823Y ,1997-07-16

[8]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[9]

化学气相沉积炉 [P].

季历程 .

中国专利 :CN102839361A ,2012-12-26

[10]

化学气相沉积炉用预热装置 [P].

卢钢认 ;

王强 ;

崔鹏 .

中国专利 :CN102330070A ,2012-01-25

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