偏心进气化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN96225269.7

申请日：

1996-01-29

公开(公告)号：

CN2257823Y

公开(公告)日：

1997-07-16

发明(设计)人：

赵林

申请人：

申请人地址：

辽宁省沈阳市沈河区文化路72号金属所

IPC主分类号：

C23C1600

IPC分类号：

代理机构：

中国科学院沈阳专利事务所

代理人：

张晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1997-07-16	授权	授权
2001-03-14	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[2]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[3]

化学气相沉积炉 [P].

季历程 .

中国专利 :CN102839361A ,2012-12-26

[4]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15

[5]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

[6]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01

[7]

化学气相沉积炉及其进气机构和进气方法 [P].

邵大立 ;

齐彪 ;

马敬忠 .

中国专利 :CN116083879B ,2025-08-29

[8]

化学气相沉积炉 [P].

张余 .

中国专利 :CN114855145A ,2022-08-05

[9]

化学气相沉积炉 [P].

王利花 ;

张淑蓉 ;

李勇 .

中国专利 :CN102181845A ,2011-09-14

[10]

化学气相沉积炉 [P].

张余 .

中国专利 :CN218059190U ,2022-12-16

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