基于衬底剥离工艺的氮化镓器件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420196981.0

申请日：

2024-01-26

公开(公告)号：

CN221977863U

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

官婧雯蒋胜柳永胜

申请人：

苏州英嘉通半导体有限公司

申请人地址：

215133 江苏省苏州市相城区高铁新城南天成路88号天成信息大厦601-A148室

IPC主分类号：

H01L21/335

IPC分类号：

H01L29/778 H01L29/43 H01L23/367 H01L23/373

代理机构：

上海霖睿专利代理事务所(普通合伙) 31391

代理人：

黄燕石

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

基于衬底剥离工艺的氮化镓器件及其制备方法 [P].

官婧雯 ;

蒋胜 ;

柳永胜 .

中国专利 :CN118098963A ,2024-05-28

[2]

自剥离氮化镓衬底材料的制备方法 [P].

邱凯 ;

尹志军 ;

李新化 ;

钟飞 ;

解新建 ;

王玉琦 .

中国专利 :CN100454490C ,2008-04-02

[3]

一种可剥离蓝宝石衬底的氮化镓基垂直器件制备方法 [P].

刘育青 ;

刘超 ;

孙跃 ;

王文博 .

中国专利 :CN111668159A ,2020-09-15

[4]

一种可剥离蓝宝石衬底的氮化镓基垂直器件制备方法 [P].

刘育青 ;

刘超 ;

孙跃 ;

王文博 .

中国专利 :CN111668159B ,2024-10-22

[5]

激光剥离制备自支撑氮化镓衬底的方法 [P].

张荣 ;

修向前 ;

徐剑 ;

顾书林 ;

卢佃清 ;

毕朝霞 ;

沈波 ;

刘治国 ;

江若琏 ;

施毅 ;

朱顺明 ;

韩平 ;

胡立群 .

中国专利 :CN1383185A ,2002-12-04

[6]

基于石墨烯的氮化镓外延层剥离方法 [P].

宁静 ;

贾彦青 ;

张进成 ;

闫朝超 ;

王东 ;

王博宇 ;

马佩军 ;

郝跃 .

中国专利 :CN110265356B ,2019-09-20

[7]

将氮化镓外延层从衬底上剥离的方法 [P].

陈辰 ;

宋杰 ;

崔周源 .

中国专利 :CN109585615B ,2019-04-05

[8]

一种氮化镓衬底剥离方法 [P].

郭芬 ;

苏康 ;

满宏涛 ;

李拓 .

中国专利 :CN114220740B ,2022-03-22

[9]

氮化镓器件 [P].

霍炎 ;

谢雷 ;

谭富耀 .

中国专利 :CN216488068U ,2022-05-10

[10]

氮化镓器件 [P].

司志伟 ;

刘宗亮 ;

徐科 .

中国专利 :CN216084919U ,2022-03-18

← 1 2 3 4 5 →