将氮化镓外延层从衬底上剥离的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811473218.3

申请日：

2018-12-04

公开(公告)号：

CN109585615B

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

陈辰宋杰崔周源

申请人：

申请人地址：

710003 陕西省西安市长安区上林苑一路15号4栋4102室

IPC主分类号：

H01L3300

IPC分类号：

H01L2178 H01L21683

代理机构：

北京金讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11554

代理人：

黄剑飞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-24	授权	授权
2019-04-05	公开	公开
2019-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20181204

共 50 条

[1]

基于石墨烯的氮化镓外延层剥离方法 [P].

宁静 ;

贾彦青 ;

张进成 ;

闫朝超 ;

王东 ;

王博宇 ;

马佩军 ;

郝跃 .

中国专利 :CN110265356B ,2019-09-20

[2]

氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延层 [P].

尹甲运 ;

房玉龙 ;

王波 ;

郭艳敏 ;

张志荣 ;

李佳 ;

芦伟立 .

中国专利 :CN109119333B ,2019-01-01

[3]

自剥离氮化镓衬底材料的制备方法 [P].

邱凯 ;

尹志军 ;

李新化 ;

钟飞 ;

解新建 ;

王玉琦 .

中国专利 :CN100454490C ,2008-04-02

[4]

硅基氮化镓外延层剥离转移的方法 [P].

赵岩 ;

吴立枢 ;

程伟 ;

石归雄 .

中国专利 :CN103985664A ,2014-08-13

[5]

氮化镓外延层 [P].

李克涛 ;

杜晓沨 ;

李宁 ;

张信 .

中国专利 :CN114447096A ,2022-05-06

[6]

在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置 [P].

侯想 ;

仇凯弘 .

中国专利 :CN206259379U ,2017-06-16

[7]

在图形衬底上生长氮化镓外延结构的方法 [P].

梁萌 ;

李鸿渐 ;

姚然 ;

李志聪 ;

李盼盼 ;

王兵 ;

李璟 ;

伊晓燕 ;

王军喜 ;

王国宏 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN102534769B ,2012-07-04

[8]

一种提高蓝宝石衬底氮化镓外延层均匀性的方法 [P].

邵慧慧 ;

徐现刚 ;

曲爽 ;

王成新 ;

李树强 .

中国专利 :CN102856442A ,2013-01-02

[9]

基于衬底剥离工艺的氮化镓器件 [P].

官婧雯 ;

蒋胜 ;

柳永胜 .

中国专利 :CN221977863U ,2024-11-08

[10]

氮化镓外延层的制造方法 [P].

B·比尤蒙特 ;

P·吉巴尔特 ;

J－C·古劳姆 ;

G·纳塔夫 ;

M·维尔 ;

S·哈佛兹 .

中国专利 :CN1279733A ,2001-01-10

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