掩模支承装置以及成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410424615.0

申请日：

2024-04-10

公开(公告)号：

CN118792615A

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

冈泽昌毅

申请人：

佳能特机株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/54

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

张宝荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-18	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜用掩模夹具以及成膜装置 [P].

佐佐田学 .

中国专利 :CN114086113A ,2022-02-25

[2]

成膜用掩模夹具以及成膜装置 [P].

佐佐田学 .

日本专利 :CN114086113B ,2024-10-25

[3]

成膜装置的掩模对位机构以及成膜装置 [P].

片冈达哉 ;

长尾兼次 ;

齐藤谦一 .

中国专利 :CN101090997A ,2007-12-19

[4]

掩模保持机构以及成膜装置 [P].

片冈达哉 ;

长尾兼次 ;

齐藤谦一 .

中国专利 :CN101090994B ,2007-12-19

[5]

对准装置、对准方法、成膜方法、掩模以及成膜装置 [P].

市原正浩 ;

长冈健 .

日本专利 :CN118854224A ,2024-10-29

[6]

成膜装置、成膜方法以及基板支承构件 [P].

东条智也 ;

鸟屋大辅 ;

冈部真也 ;

窟田隼史 .

日本专利 :CN120967322A ,2025-11-18

[7]

成膜掩模、成膜装置、成膜方法以及触摸面板基板 [P].

杉本重人 .

中国专利 :CN105531394A ,2016-04-27

[8]

载台支承装置、对准装置、成膜装置、掩模载置方法、成膜方法及电子器件的制造方法 [P].

铃木健太郎 ;

三泽启太 ;

佐藤精二 ;

永田哲也 .

中国专利 :CN115701649A ,2023-02-10

[9]

支承单元、成膜装置以及载体的支承方法 [P].

森隆之 .

日本专利 :CN118256886A ,2024-06-28

[10]

成膜装置用掩模 [P].

饭岛荣一 ;

矶佳树 ;

加藤优 .

中国专利 :CN301236074S ,2010-05-26

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