成膜装置、成膜方法以及基板支承构件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510571367.7

申请日：

2025-05-06

公开(公告)号：

CN120967322A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

东条智也鸟屋大辅冈部真也窟田隼史

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C16/455 C23C16/458

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/44申请日:20250506
2025-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜装置、成膜方法以及隔热构件 [P].

高木聪 ;

小森克彦 ;

冈田充弘 ;

渡边将久 ;

高桥和也 ;

矢野一纪 ;

藤田圭介 .

中国专利 :CN108239766A ,2018-07-03

[2]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[3]

成膜方法以及成膜装置 [P].

我妻雄一郎 ;

金子都 ;

野吕尚孝 .

中国专利 :CN109423625A ,2019-03-05

[4]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小畑雄治 ;

冈部庸之 .

中国专利 :CN114606480A ,2022-06-10

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

军司勋男 .

中国专利 :CN102376549A ,2012-03-14

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

竹泽由裕 ;

坂下训康 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN108220921A ,2018-06-29

[7]

成膜方法以及成膜装置 [P].

山田一希 ;

加藤大辉 ;

大内健次 ;

松崎和爱 .

中国专利 :CN107068917B ,2017-08-18

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

清水亮 ;

石井胜利 ;

寺本章伸 ;

诹访智之 ;

志波良信 .

中国专利 :CN109468613A ,2019-03-15

[9]

成膜装置以及成膜方法 [P].

长冈健 .

日本专利 :CN119895072A ,2025-04-25

[10]

成膜掩模、成膜装置、成膜方法以及触摸面板基板 [P].

杉本重人 .

中国专利 :CN105531394A ,2016-04-27

← 1 2 3 4 5 →