成膜装置、成膜方法以及隔热构件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711431130.0

申请日：

2017-12-26

公开(公告)号：

CN108239766A

公开(公告)日：

2018-07-03

发明(设计)人：

高木聪小森克彦冈田充弘渡边将久高桥和也矢野一纪藤田圭介

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1624

IPC分类号：

C23C16458 H01L2167 H01L21687 H01L21205

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/24 申请日:20171226
2022-01-07	授权	授权
2018-07-03	公开	公开

共 50 条

[1]

成膜装置以及成膜方法 [P].

大城健一 ;

佐藤强 ;

德本隆男 ;

夏贞雄 ;

岩崎聪一郎 .

中国专利 :CN101905205A ,2010-12-08

[2]

成膜装置、成膜方法以及基板支承构件 [P].

东条智也 ;

鸟屋大辅 ;

冈部真也 ;

窟田隼史 .

日本专利 :CN120967322A ,2025-11-18

[3]

成膜装置、成膜系统以及成膜方法 [P].

品田正人 ;

户岛宏至 .

中国专利 :CN110819949A ,2020-02-21

[4]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小平周司 ;

吉浜知之 ;

镰田恒吉 ;

堀田和正 ;

滨口纯一 ;

中西茂雄 ;

丰田聪 .

中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23

[7]

成膜装置以及成膜方法 [P].

谷典明 ;

森中泰三 ;

铃木寿弘 ;

松本昌弘 .

中国专利 :CN1957106B ,2007-05-02

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

尾崎悟 ;

徳嵩佑 .

中国专利 :CN105555995B ,2016-05-04

[9]

成膜方法以及成膜装置 [P].

我妻雄一郎 ;

金子都 ;

野吕尚孝 .

中国专利 :CN109423625A ,2019-03-05

[10]

成膜方法以及成膜装置 [P].

古谷弘 ;

西林道生 ;

中泽诚一 ;

三谷慎一 .

中国专利 :CN100459033C ,2007-06-06

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