等离子源以及等离子体设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411199630.6

申请日：

2024-08-29

公开(公告)号：

CN119110475A

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

罗雁燊肖勇贺磊

申请人：

广东先导元创精密科技有限公司

申请人地址：

510623 广东省广州市天河区花城大道68号4703房

IPC主分类号：

H05H1/46

IPC分类号：

H01J37/32 H01J37/08

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387

代理人：

张向琨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H05H 1/46申请日:20240829
2024-12-10	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子源簇以及PECVD设备 [P].

宋新国 ;

岑福达 ;

罗雁燊 ;

任晓东 .

中国专利 :CN119108257B ,2025-10-24

[2]

等离子源簇以及PECVD设备 [P].

宋新国 ;

岑福达 ;

罗雁燊 ;

任晓东 .

中国专利 :CN119108257A ,2024-12-10

[3]

等离子体离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN307035534S ,2021-12-28

[4]

等离子体离子源 [P].

缪同群 ;

谢圣鸣 .

中国专利 :CN220439551U ,2024-02-02

[5]

双等离子体离子源 [P].

威廉·狄贝尔吉利欧 .

中国专利 :CN101903970A ,2010-12-01

[6]

等离子源 [P].

格里格·莫菲尔 ;

伯尔尼·史蒂夫 .

中国专利 :CN101731024A ,2010-06-09

[7]

混合等离子体源阵列 [P].

龙茂林 .

中国专利 :CN120767180A ,2025-10-10

[8]

等离子源以及等离子处理装置 [P].

江部明宪 .

中国专利 :CN109479369A ,2019-03-15

[9]

离子源和等离子体处理设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208970478U ,2019-06-11

[10]

离子源和等离子体处理设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110970280A ,2020-04-07

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