共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
混合等离子体源阵列
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511191161.8
申请日：
2022-05-23
公开(公告)号：
CN120767180A
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
龙茂林
申请人：
北京屹唐半导体科技股份有限公司
玛特森技术公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H05H1/46
代理机构：
北京易光知识产权代理有限公司 11596
代理人：
梅丹丹;武晨燕
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20220523 |