舟结构和硅片载具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323642696.1

申请日：

2023-12-28

公开(公告)号：

CN222106628U

公开(公告)日：

2024-12-03

发明(设计)人：

袁长江朱太荣张武

申请人：

拉普拉斯新能源科技股份有限公司

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L31/18

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

宗广静

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

舟脚、载具和镀膜设备 [P].

李挺 .

中国专利 :CN119980201A ,2025-05-13

[2]

石墨舟清洗载具 [P].

王骏明 ;

杨伟 ;

胡政春 ;

黄飞 .

中国专利 :CN210966276U ,2020-07-10

[3]

硅片输送载具及硅片传送装置 [P].

苏金财 .

中国专利 :CN208507708U ,2019-02-15

[4]

舟片组件、加热载具以及加工设备 [P].

杨芳 ;

朱太荣 ;

黄小琳 ;

赵国建 ;

张武 .

中国专利 :CN222908062U ,2025-05-27

[5]

石英硅片舟 [P].

周文斌 .

中国专利 :CN201681957U ,2010-12-22

[6]

载片舟及镀膜设备 [P].

刘官炫 ;

朱太荣 ;

张武 ;

林佳继 .

中国专利 :CN117702067A ,2024-03-15

[7]

硅片载板 [P].

吴栋梁 ;

孟家祥 ;

丁志强 .

中国专利 :CN309659376S ,2025-12-09

[8]

舟结构、硅片搬运机构以及加工装置 [P].

何瑜浩 ;

朱太荣 ;

张武 .

中国专利 :CN221057380U ,2024-05-31

[9]

硅片载具支撑装置及硅片反应设备 [P].

张勇 ;

易炜 ;

彭亚萍 ;

邓金生 .

中国专利 :CN222721903U ,2025-04-04

[10]

硅片石墨舟辅助加热设备 [P].

马兴松 ;

程浩浩 ;

段伟 ;

何光明 .

中国专利 :CN216563052U ,2022-05-17

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