舟脚、载具和镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510361554.2

申请日：

2025-03-25

公开(公告)号：

CN119980201A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

李挺

申请人：

江苏微导纳米科技股份有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

北京市盈科律师事务所 11344

代理人：

张晶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/50申请日:20250325
2025-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[2]

载片舟及镀膜设备 [P].

刘官炫 ;

朱太荣 ;

张武 ;

林佳继 .

中国专利 :CN117702067A ,2024-03-15

[3]

一种舟脚、载具和沉积设备 [P].

严大 ;

张胜 ;

李挺 .

中国专利 :CN115631987B ,2024-02-13

[4]

一种舟脚、载具和沉积设备 [P].

严大 ;

张胜 ;

李挺 .

中国专利 :CN115631987A ,2023-01-20

[5]

镀膜载具及镀膜设备 [P].

邓志鹏 ;

朱太荣 ;

郭路斌 ;

张武 .

中国专利 :CN220468143U ,2024-02-09

[6]

石墨舟清洗载具 [P].

王骏明 ;

杨伟 ;

胡政春 ;

黄飞 .

中国专利 :CN210966276U ,2020-07-10

[7]

舟结构和硅片载具 [P].

袁长江 ;

朱太荣 ;

张武 .

中国专利 :CN222106628U ,2024-12-03

[8]

一种石墨舟及镀膜设备 [P].

王树林 ;

杨震 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN119786403A ,2025-04-08

[9]

载板和镀膜设备 [P].

沈良 .

中国专利 :CN109628905A ,2019-04-16

[10]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

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