一种晶圆夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420817378.X

申请日：

2024-04-19

公开(公告)号：

CN222095914U

公开(公告)日：

2024-12-03

发明(设计)人：

戴晓松谭良恒石成林

申请人：

菲科半导体（张家港）有限公司

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市塘桥镇弘吴大道199号29幢

IPC主分类号：

B25B11/00

IPC分类号：

代理机构：

重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219

代理人：

陈宇航

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆夹具 [P].

李媛媛 .

中国专利 :CN217485425U ,2022-09-23

[2]

一种晶圆分选设备 [P].

王云靖 ;

孙传朋 ;

刘沉 .

中国专利 :CN220716780U ,2024-04-05

[3]

一种晶圆夹具 [P].

莫中友 .

中国专利 :CN215911411U ,2022-02-25

[4]

一种晶圆切割夹具 [P].

原子健 ;

常小明 ;

李晓杰 .

中国专利 :CN210516692U ,2020-05-12

[5]

一种晶圆加工夹具 [P].

李江华 ;

孙效中 ;

汤为 .

中国专利 :CN207233720U ,2018-04-13

[6]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

周旭 .

中国专利 :CN211879335U ,2020-11-06

[7]

一种III-V化合物半导体晶圆化学清洗用夹具 [P].

宋舒婷 ;

李朋朋 ;

雷冬 ;

彭罗汉 .

中国专利 :CN207303068U ,2018-05-01

[8]

一种改进的晶圆测试装置 [P].

杨兆明 ;

曾春耕 ;

张鲲 .

中国专利 :CN215833456U ,2022-02-15

[9]

一种晶圆夹具 [P].

柳威 ;

张峰 ;

孙荣兵 ;

孙剑 ;

高裕弟 .

中国专利 :CN217822735U ,2022-11-15

[10]

一种晶圆夹具 [P].

冯向旭 .

中国专利 :CN222562670U ,2025-03-04

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