一种晶圆夹具

被引：0

申请号：

CN202221396562.9

申请日：

2022-06-06

公开(公告)号：

CN217485425U

公开(公告)日：

2022-09-23

发明(设计)人：

李媛媛

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市增城区宁西街香山大道2号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

黄建祥

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆夹具 [P].

戴晓松 ;

谭良恒 ;

石成林 .

中国专利 :CN222095914U ,2024-12-03

[2]

一种晶圆分选设备 [P].

王云靖 ;

孙传朋 ;

刘沉 .

中国专利 :CN220716780U ,2024-04-05

[3]

一种晶圆夹具 [P].

莫中友 .

中国专利 :CN215911411U ,2022-02-25

[4]

一种晶圆切割夹具 [P].

原子健 ;

常小明 ;

李晓杰 .

中国专利 :CN210516692U ,2020-05-12

[5]

一种晶圆加工夹具 [P].

李江华 ;

孙效中 ;

汤为 .

中国专利 :CN207233720U ,2018-04-13

[6]

一种晶圆裂片夹具 [P].

徐鹏 .

中国专利 :CN212848317U ,2021-03-30

[7]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

周旭 .

中国专利 :CN211879335U ,2020-11-06

[8]

一种III-V化合物半导体晶圆化学清洗用夹具 [P].

宋舒婷 ;

李朋朋 ;

雷冬 ;

彭罗汉 .

中国专利 :CN207303068U ,2018-05-01

[9]

一种改进的晶圆测试装置 [P].

杨兆明 ;

曾春耕 ;

张鲲 .

中国专利 :CN215833456U ,2022-02-15

[10]

一种晶圆夹具 [P].

柳威 ;

张峰 ;

孙荣兵 ;

孙剑 ;

高裕弟 .

中国专利 :CN217822735U ,2022-11-15

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