硅片抛光设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322575499.6
申请日
2023-09-21
公开(公告)号
CN221871594U
公开(公告)日
2024-10-22
发明(设计)人
郭鹏
申请人
西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号
B24B37/10
IPC分类号
B24B37/34 B24B55/06
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
尹倩
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
硅片抛光方法和硅片抛光设备 [P]. 
靳凌翔 .
中国专利 :CN119526238B ,2025-11-28
[2]
硅片抛光方法和硅片抛光设备 [P]. 
徐全 .
中国专利 :CN112454017A ,2021-03-09
[3]
硅片抛光方法和硅片抛光设备 [P]. 
靳凌翔 .
中国专利 :CN119526238A ,2025-02-28
[4]
硅片精磨抛光工装及硅片抛光设备 [P]. 
许小鹏 ;
马俊廷 ;
丁亚国 ;
张洪标 .
中国专利 :CN213858695U ,2021-08-03
[5]
硅片抛光方法及装置 [P]. 
马驰 .
中国专利 :CN119658580A ,2025-03-21
[6]
一种硅片抛光装置 [P]. 
陈波 ;
夏洋 ;
李楠 .
中国专利 :CN107154366A ,2017-09-12
[7]
硅片抛光装置和硅片抛光方法 [P]. 
丁建行 .
中国专利 :CN117532427A ,2024-02-09
[8]
一种硅片抛光方法及装置 [P]. 
陈波 ;
夏洋 ;
李楠 .
中国专利 :CN107154351B ,2017-09-12
[9]
一种硅片抛光设备中使用的中转装置及硅片抛光设备 [P]. 
马科宁 .
中国专利 :CN214923338U ,2021-11-30
[10]
一种硅片抛光设备、方法及装置 [P]. 
靳凌翔 .
中国专利 :CN118544213A ,2024-08-27