学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审
硅片抛光设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202322575499.6
申请日
:
2023-09-21
公开(公告)号
:
CN221871594U
公开(公告)日
:
2024-10-22
发明(设计)人
:
郭鹏
申请人
:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址
:
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号
:
B24B37/10
IPC分类号
:
B24B37/34
B24B55/06
代理机构
:
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
:
尹倩
法律状态
:
授权
国省代码
:
江苏省 常州市
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-10-22
授权
授权
共 50 条
[1]
硅片抛光方法和硅片抛光设备
[P].
靳凌翔
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
靳凌翔
.
中国专利
:CN119526238B
,2025-11-28
[2]
硅片抛光方法和硅片抛光设备
[P].
徐全
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
徐全
.
中国专利
:CN112454017A
,2021-03-09
[3]
硅片抛光方法和硅片抛光设备
[P].
靳凌翔
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
靳凌翔
.
中国专利
:CN119526238A
,2025-02-28
[4]
硅片精磨抛光工装及硅片抛光设备
[P].
许小鹏
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
许小鹏
;
马俊廷
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
马俊廷
;
丁亚国
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
丁亚国
;
张洪标
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张洪标
.
中国专利
:CN213858695U
,2021-08-03
[5]
硅片抛光方法及装置
[P].
马驰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
马驰
.
中国专利
:CN119658580A
,2025-03-21
[6]
一种硅片抛光装置
[P].
陈波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
陈波
;
夏洋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
夏洋
;
李楠
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李楠
.
中国专利
:CN107154366A
,2017-09-12
[7]
硅片抛光装置和硅片抛光方法
[P].
丁建行
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
丁建行
.
中国专利
:CN117532427A
,2024-02-09
[8]
一种硅片抛光方法及装置
[P].
陈波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
陈波
;
夏洋
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
夏洋
;
李楠
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李楠
.
中国专利
:CN107154351B
,2017-09-12
[9]
一种硅片抛光设备中使用的中转装置及硅片抛光设备
[P].
马科宁
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
马科宁
.
中国专利
:CN214923338U
,2021-11-30
[10]
一种硅片抛光设备、方法及装置
[P].
靳凌翔
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
靳凌翔
.
中国专利
:CN118544213A
,2024-08-27
←
1
2
3
4
5
→