一种高均一性无污染的晶圆精密喷砂装置及其工作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410997291.X

申请日：

2024-07-24

公开(公告)号：

CN118789463A

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

李山陈池来徐椿景刘友江

申请人：

合肥中科岛晶科技有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市肥西县桃花镇永和路与铭传路交口向东200米桃花科创谷D2栋

IPC主分类号：

B24C3/02

IPC分类号：

H01L21/67 B24C9/00 B24C1/04 B24C7/00 B08B5/02 B01D50/60

代理机构：

合肥国和专利代理事务所(普通合伙) 34131

代理人：

张祥骞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24C 3/02申请日:20240724
2024-10-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种无污染喷砂机 [P].

关松生 .

中国专利 :CN107283327A ,2017-10-24

[2]

一种无污染喷砂机 [P].

赵燕 .

中国专利 :CN207326767U ,2018-05-08

[3]

一种无污染喷砂机 [P].

刘德祥 .

中国专利 :CN206883461U ,2018-01-16

[4]

一种晶圆喷砂机 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN213136393U ,2021-05-07

[5]

一种晶圆喷砂机 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN111843860A ,2020-10-30

[6]

一种喷砂机喷砂废料的回收利用系统装置及其工作方法和应用 [P].

王超 ;

金英镇 ;

邵春伟 .

中国专利 :CN119550259A ,2025-03-04

[7]

一种晶圆喷砂双供料机 [P].

高波 .

中国专利 :CN113910109B ,2025-03-14

[8]

一种晶圆喷砂双供料机 [P].

高波 .

中国专利 :CN216542769U ,2022-05-17

[9]

一种晶圆喷砂双供料机 [P].

高波 .

中国专利 :CN113910109A ,2022-01-11

[10]

一种新型喷砂机及工作方法和调整喷砂面积方法 [P].

张玉书 .

中国专利 :CN108372470A ,2018-08-07

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