基板保持装置、曝光装置及物品的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410495072.1

申请日：

2024-04-24

公开(公告)号：

CN118859636A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

金子慎也细川浩伸

申请人：

佳能株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/027 H01L21/687

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

刘杨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	公开	公开
2025-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240424

共 50 条

[1]

基板保持装置、曝光装置以及物品制造方法 [P].

坂田峻也 ;

高桥彰宏 ;

大阪昇 .

中国专利 :CN110554576A ,2019-12-10

[2]

基板保持装置、曝光装置以及物品的制造方法 [P].

鴫原雅人 .

中国专利 :CN111077740A ,2020-04-28

[3]

基板保持装置、曝光装置以及物品的制造方法 [P].

高桥彰宏 ;

大阪昇 ;

坂田峻也 .

中国专利 :CN110597017A ,2019-12-20

[4]

基板保持装置、曝光装置以及物品的制造方法 [P].

大阪昇 ;

高桥彰宏 ;

坂田峻也 .

中国专利 :CN110554575B ,2019-12-10

[5]

保持装置、曝光装置以及物品的制造方法 [P].

青木一久 .

日本专利 :CN117389113A ,2024-01-12

[6]

保持机构、曝光装置以及物品制造方法 [P].

由井友树 ;

羽切正人 ;

木村一贵 ;

关美津留 ;

白畑恭平 ;

西川友弘 .

日本专利 :CN118818907A ,2024-10-22

[7]

保持装置、控制方法、光学装置、曝光装置以及物品的制造方法 [P].

堀笼翔太 .

日本专利 :CN118818908A ,2024-10-22

[8]

曝光装置及物品制造方法 [P].

漆原宏亮 .

中国专利 :CN112099318A ,2020-12-18

[9]

曝光装置及物品制造方法 [P].

漆原宏亮 .

日本专利 :CN112099318B ,2024-01-02

[10]

保持装置、曝光装置、物品制造方法 [P].

中岛猛 ;

羽切正人 ;

辻穣 .

日本专利 :CN112147855B ,2024-09-03

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