不純物を含まない金属合金膜を形成するための方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230509363
申请日
2021-08-11
公开(公告)号
JP2023537931A
公开(公告)日
2023-09-06
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/18
IPC分类号
C23C16/455 H01L21/28 H01L21/285
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
不純物を含まない金属合金膜を形成するための方法[ja] [P]. 
GEETIKA BAJAJ ;
DARSHAN THAKARE ;
PRERNA GORADIA ;
ROBERT JAN VISSER ;
YANG YIXIONG ;
JACQUELINE S WRENCH ;
SRINIVAS GANDIKOTA .
日本专利 :JP2025081314A ,2025-05-27
[5]
合金を処理するための方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016513184A ,2016-05-12
[6]
金属膜を形成する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7521495B2 ,2024-07-24
[8]
金属膜を形成する方法、及び金属膜を形成する装置[ja] [P]. 
NASU KATSUYUKI ;
HIRASAWA TATSURO ;
YAMASAKI HIDEAKI ;
KOBAYASHI TAKASHI .
日本专利 :JP2025111148A ,2025-07-30
[9]
金属部品を接合するための方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022534113A ,2022-07-27