不純物を含まない金属合金膜を形成するための方法[ja]

被引:0
申请号
JP20250008129
申请日
2025-01-21
公开(公告)号
JP2025081314A
公开(公告)日
2025-05-27
发明(设计)人
GEETIKA BAJAJ DARSHAN THAKARE PRERNA GORADIA ROBERT JAN VISSER YANG YIXIONG JACQUELINE S WRENCH SRINIVAS GANDIKOTA
申请人
APPLIED MATERIALS INC
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/455
IPC分类号
C07F7/08 C23C16/08 H01L21/285
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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