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一种半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411053382.4
申请日：
2024-08-02
公开(公告)号：
CN119050003A
公开(公告)日：
2024-11-29
发明(设计)人：
张明辉
刘红志
冯凯强
申请人：
乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路1568号7幢
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/687
G01B11/00
G01V8/20
G06F17/10
代理机构：
上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380
代理人：
冯春风
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-29 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240802 |