横向间隙填充

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380035405.6

申请日：

2023-04-19

公开(公告)号：

CN119054047A

公开(公告)日：

2024-11-29

发明(设计)人：

丹尼尔·克里斯多夫·梅西纳道格拉斯·沃尔特·阿格纽詹尼弗·利·佩特拉利亚玛丽·沃丁顿·格鲁姆布莱斯

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L21/768 C23C16/02 C23C16/04 C23C16/455

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20230419
2024-11-29	公开	公开

共 50 条

[1]

介电间隙填充 [P].

彭羽筠 .

中国专利 :CN110600421B ,2019-12-20

[2]

间隙填充方法 [P].

王晓日 ;

程刘锁 .

中国专利 :CN111128718A ,2020-05-08

[3]

间隙填充方法 [P].

沈载桓 ;

朴琎洪 ;

林载峰 ;

赵廷奎 ;

徐承柏 ;

朴钟根 ;

李明琦 ;

P·D·胡斯塔德 .

中国专利 :CN105304550A ,2016-02-03

[4]

间隙填充方法 [P].

朴钟根 ;

徐承柏 ;

P·D·胡斯塔德 ;

李明琦 .

中国专利 :CN104701238A ,2015-06-10

[5]

波形间隙填充 [P].

A·J·海森 .

中国专利 :CN111832148A ,2020-10-27

[6]

间隙填充方法 [P].

J·F·卡梅伦 ;

K·张 ;

崔莉 ;

D·格林 ;

山田晋太郎 .

中国专利 :CN109786223A ,2019-05-21

[7]

波形间隙填充 [P].

A·J·海森 .

美国专利 :CN111832148B ,2024-07-30

[8]

用于金属间隙填充的方法 [P].

徐翼 ;

雷雨 ;

张爱西 ;

刘冰倩 ;

亓智敏 ;

雷伟 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN121079759A ,2025-12-05

[9]

间隙填充式轮胎 [P].

师进生 ;

师永生 .

中国专利 :CN206579411U ,2017-10-24

[10]

碳间隙填充处理 [P].

A·S·巴加尔 ;

符谦 .

美国专利 :CN118120043A ,2024-05-31

← 1 2 3 4 5 →