间隙填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911363222.9

申请日：

2019-12-26

公开(公告)号：

CN111128718A

公开(公告)日：

2020-05-08

发明(设计)人：

王晓日程刘锁

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L213105

IPC分类号：

H01L21762

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

黎伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	公开	公开
2020-06-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3105 申请日:20191226

共 50 条

[1]

间隙填充方法 [P].

沈载桓 ;

朴琎洪 ;

林载峰 ;

赵廷奎 ;

徐承柏 ;

朴钟根 ;

李明琦 ;

P·D·胡斯塔德 .

中国专利 :CN105304550A ,2016-02-03

[2]

间隙填充方法 [P].

朴钟根 ;

徐承柏 ;

P·D·胡斯塔德 ;

李明琦 .

中国专利 :CN104701238A ,2015-06-10

[3]

间隙填充方法 [P].

J·F·卡梅伦 ;

K·张 ;

崔莉 ;

D·格林 ;

山田晋太郎 .

中国专利 :CN109786223A ,2019-05-21

[4]

隔离区域间隙填充方法 [P].

彭治棠 ;

黄泰钧 ;

连浩明 ;

李资良 .

中国专利 :CN104037116B ,2014-09-10

[5]

填充间隙的方法 [P].

S·禹 ;

R·H·J·沃乌尔特 .

:CN120300063A ,2025-07-11

[6]

间隙填充材料及方法 [P].

苏煜中 ;

张庆裕 .

中国专利 :CN104752171A ,2015-07-01

[7]

间隙填充的工艺方法 [P].

吴建荣 ;

周洁鹏 ;

季伟 .

中国专利 :CN107039332A ,2017-08-11

[8]

用于间隙填充的方法 [P].

徐翼 ;

雷雨 ;

张爱西 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN120239902A ,2025-07-01

[9]

波形间隙填充 [P].

A·J·海森 .

中国专利 :CN111832148A ,2020-10-27

[10]

横向间隙填充 [P].

丹尼尔·克里斯多夫·梅西纳 ;

道格拉斯·沃尔特·阿格纽 ;

詹尼弗·利·佩特拉利亚 ;

玛丽·沃丁顿·格鲁姆布莱斯 .

美国专利 :CN119054047A ,2024-11-29

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