隔离区域间隙填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310231141.X

申请日：

2013-06-09

公开(公告)号：

CN104037116B

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

彭治棠黄泰钧连浩明李资良

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L27088

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;孙征

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587397922 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:201310231141X 申请日:20130609
2017-04-12	授权	授权
2014-09-10	公开	公开

共 50 条

[1]

间隙填充方法 [P].

王晓日 ;

程刘锁 .

中国专利 :CN111128718A ,2020-05-08

[2]

间隙填充介电材料 [P].

雅米妮·潘迪 ;

海伦·晓·徐 ;

约瑟夫·T·肯尼迪 .

中国专利 :CN110192272A ,2019-08-30

[3]

用于窄间隙隔离区的自对准沟槽填充 [P].

杰克·H·元 .

中国专利 :CN101341596A ,2009-01-07

[4]

间隙填充沉积工艺 [P].

姜浩 ;

古劳斯·贝基亚里斯 ;

埃莉卡·陈 ;

梅裕尔·B·奈克 .

中国专利 :CN114556544A ,2022-05-27

[5]

介电间隙填充 [P].

彭羽筠 .

中国专利 :CN110600421B ,2019-12-20

[6]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷雨 ;

傅新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

柳尚澔 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN105518827A ,2016-04-20

[7]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷雨 ;

傅新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

柳尚澔 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN110066984B ,2019-07-30

[8]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫热里诺·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷宇 ;

付新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

尚浩·于 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN104205302B ,2017-04-05

[9]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫热里诺·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷宇 ;

付新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

尚浩·于 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN106887380A ,2017-06-23

[10]

填充间隙的方法与浅沟渠隔离结构的制造方法 [P].

吕前宏 ;

苏金达 ;

陈光钊 .

中国专利 :CN1614752A ,2005-05-11

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