实现无缝钴间隙填充的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710145552.5

申请日：

2013-03-22

公开(公告)号：

CN106887380A

公开(公告)日：

2017-06-23

发明(设计)人：

布尚·N·左普阿夫热里诺·V·杰拉托斯博·郑雷宇付新宇斯里尼瓦斯·甘迪科塔尚浩·于马修·亚伯拉罕

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21285 H01L21768 H01L21336

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	公开	公开
2017-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101735213532 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2017101455525 申请日:20130322
2020-03-17	授权	授权

共 50 条

[1]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫热里诺·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷宇 ;

付新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

尚浩·于 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN104205302B ,2017-04-05

[2]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷雨 ;

傅新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

柳尚澔 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN105518827A ,2016-04-20

[3]

实现无缝钴间隙填充的方法 [P].

布尚·N·左普 ;

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

博·郑 ;

雷雨 ;

傅新宇 ;

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

柳尚澔 ;

马修·亚伯拉罕 .

中国专利 :CN110066984B ,2019-07-30

[4]

无缝隙间隙填充沉积 [P].

赵庆华 ;

程睿 ;

K·嘉纳基拉曼 .

美国专利 :CN117980533A ,2024-05-03

[5]

用于无孔隙钴间隙填充的方法 [P].

罗郑硕 ;

于天华 ;

米卡尔·达内克 ;

桑杰·戈皮纳特 .

中国专利 :CN105390438A ,2016-03-09

[6]

用于金属间隙填充的方法 [P].

徐翼 ;

雷雨 ;

张爱西 ;

刘冰倩 ;

亓智敏 ;

雷伟 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN121079759A ,2025-12-05

[7]

用于介电材料的无缝间隙填充的方法 [P].

刘程玉 ;

熊睿通 ;

谢波 ;

唐先民 ;

刘宜君 ;

夏立群 .

美国专利 :CN118043953A ,2024-05-14

[8]

隔离区域间隙填充方法 [P].

彭治棠 ;

黄泰钧 ;

连浩明 ;

李资良 .

中国专利 :CN104037116B ,2014-09-10

[9]

碳间隙填充处理 [P].

A·S·巴加尔 ;

符谦 .

美国专利 :CN118120043A ,2024-05-31

[10]

碳间隙填充膜 [P].

江施施 ;

E·文卡塔苏布磊曼聂 ;

P·曼纳 ;

A·玛里克 .

中国专利 :CN112385013A ,2021-02-19

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