用于集成电路制造的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010166851.9

申请日：

2020-03-11

公开(公告)号：

CN112053951B

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

瑞英刘彤李宜芳 D·科隆博 S·博尔萨里 A·约翰逊

申请人：

美光科技公司

申请人地址：

美国爱达荷州

IPC主分类号：

H01L21/3213

IPC分类号：

H10B12/00

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

王龙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-18	授权	授权

共 50 条

[1]

用于集成电路制造的方法 [P].

瑞英 ;

刘彤 ;

李宜芳 ;

D·科隆博 ;

S·博尔萨里 ;

A·约翰逊 .

中国专利 :CN112053951A ,2020-12-08

[2]

集成电路制造方法 [P].

王建惟 ;

郑雅如 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN110828303A ,2020-02-21

[3]

集成电路制造方法 [P].

何邦庆 ;

陈建宏 .

中国专利 :CN1251303C ,2004-04-28

[4]

用于集成电路制造的方法 [P].

王宏钧 ;

张景旭 ;

张凤如 ;

吴俊宏 ;

吴秉杰 ;

刘文豪 ;

吴明轩 ;

林丰隆 ;

蔡振坤 ;

黄文俊 ;

刘如淦 .

中国专利 :CN105045946A ,2015-11-11

[5]

集成电路及集成电路制造方法 [P].

耶罗恩·范登博门 .

中国专利 :CN102105986A ,2011-06-22

[6]

用于制造集成电路的方法和集成电路 [P].

M.莱姆克 ;

S.特根 ;

M.福格特 .

中国专利 :CN103996660B ,2014-08-20

[7]

集成电路和用于制造集成电路的方法 [P].

张耀文 ;

徐晨祐 ;

郑光茗 ;

蔡正原 .

中国专利 :CN108172560A ,2018-06-15

[8]

集成电路以及用于制造集成电路的方法 [P].

福尔克尔·杜德克 ;

米夏埃多·格拉夫 ;

安德烈·海德 ;

斯特凡·施万特斯 .

中国专利 :CN1881589A ,2006-12-20

[9]

集成电路制造的方法 [P].

张世明 ;

李潜福 ;

曾晋沅 .

中国专利 :CN106328585B ,2017-01-11

[10]

用于集成电路制造的烤箱 [P].

沈国平 .

中国专利 :CN102074457A ,2011-05-25

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