具有阶梯深槽屏蔽栅MOS结构和制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910765345.9
申请日
2019-08-19
公开(公告)号
CN110400846B
公开(公告)日
2024-12-20
发明(设计)人
钱振华 张艳旺
申请人
无锡橙芯微电子科技有限公司
申请人地址
214063 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A10栋207
IPC主分类号
H01L29/78
IPC分类号
H01L29/423 H01L21/336
代理机构
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104
代理人
曹祖良
法律状态
授权
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
具有阶梯深槽屏蔽栅MOS结构和制作方法 [P]. 
钱振华 ;
张艳旺 .
中国专利 :CN110400846A ,2019-11-01
[2]
具有阶梯深槽屏蔽栅MOS结构 [P]. 
钱振华 ;
张艳旺 .
中国专利 :CN211404508U ,2020-09-01
[3]
一种具有渐变深槽的屏蔽栅MOS结构 [P]. 
钱振华 ;
吴宗宪 ;
王宇澄 .
中国专利 :CN107799585A ,2018-03-13
[4]
一种具有渐变深槽的屏蔽栅MOS结构 [P]. 
钱振华 ;
吴宗宪 ;
王宇澄 .
中国专利 :CN207925474U ,2018-09-28
[5]
具有屏蔽栅的SJ MOS器件终端结构及其制作方法 [P]. 
吴宗宪 ;
陈彦豪 .
中国专利 :CN110739346A ,2020-01-31
[6]
采用屏蔽栅的超结MOSFET结构和制作方法 [P]. 
钱振华 ;
张艳旺 .
中国专利 :CN110391302B ,2024-07-23
[7]
采用屏蔽栅的超结MOSFET结构和制作方法 [P]. 
钱振华 ;
张艳旺 .
中国专利 :CN110391302A ,2019-10-29
[8]
具有浮岛结构的高压屏蔽栅MOSFET和制作方法 [P]. 
钱振华 ;
张艳旺 .
中国专利 :CN110459612A ,2019-11-15
[9]
具有阶梯型氧化层的屏蔽栅MOS器件终端结构及制作方法 [P]. 
吴宗宪 ;
陈彦豪 .
中国专利 :CN110676312A ,2020-01-10
[10]
具有底部厚氧化层的沟槽栅MOS结构和制作工艺 [P]. 
钱振华 ;
张艳旺 .
中国专利 :CN110400847A ,2019-11-01